@misc{Piątkowski_Bronisław_Badanie_2012,
 author={Piątkowski Bronisław},
 volume={40},
 editor={Szymański Sławomir},
 number={2},
 copyright={Rights Reserved - Free Access},
 journal={Electronic Materials},
 address={Warszawa},
 howpublished={online},
 year={2012},
 publisher={ITME},
 language={pol},
 title={Badanie mikroporowatości polerowanej powierzchni płytek krzemowych w celu dostosowania sposobu ich wytwarzania do nowych wymagań jakościowych = Study of micro-roughness of the polished surface of silicon wafers aimed at fulfilling the new quality requirements},
 type={Text},
 URL={http://rcin.org.pl/Content/27925/PDF/WA901_46207_M1_r2012-t40-z2_Mater-Elektron-Piat_i.pdf},
 keywords={Electronic - journal - materials, Electronic - materials, silicon wafers, surface micro-roughness},
}