@misc{Mazur_Krystyna_Pomiar_2008,
 author={Mazur Krystyna},
 volume={36},
 number={3},
 copyright={Rights Reserved - Free Access},
 journal={Electronic Materials},
 address={Warszawa},
 howpublished={online},
 year={2008},
 publisher={ITME},
 language={pol},
 title={Pomiar długozasięgowego odchylenia od płaskości powierzchni płytek Si za pomocą HR XRR = Measurement of long range surface flatness deviation of Siu wafers by means of HR XRR method},
 type={Text},
 URL={http://rcin.org.pl/Content/7168/PDF/WA901_15998_M1-r2008-t36-z3_Mater-Elektroniczne_Mazur_i.pdf},
 keywords={Electronic - journal - materials, Electronic - materials, Si wafer, X-ray reflectrometry},
}