@misc{Łazowy_Barbara_Badanie_1980,
 author={Łazowy Barbara},
 volume={25},
 number={1},
 copyright={Rights Reserved - Free Access},
 address={Warszawa},
 journal={Electronic Materials},
 howpublished={online},
 year={1980},
 publisher={Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"},
 language={pol},
 type={Text},
 title={Badanie powierzchniowej warstwy uszkodzonej na płytkach monokrystalicznych krzemu = Investigation of the damaged surface layer on monocrystalline silicon wafers},
 URL={http://rcin.org.pl/Content/18458/PDF/WA901_11453_M1_r1979-z1-25_Mater-Elektron-Laz_i.pdf},
 keywords={Electronic - journal - materials, Electronic - materials, dameged layer, silicon wafer},
}