@misc{Otto_Elżbieta_Mechaniczno-chemiczne_1981,
 author={Otto Elżbieta},
 volume={30},
 editor={Hruban Andrzej},
 editor={Brzozowski Waldemar},
 number={2},
 copyright={Rights Reserved - Free Access},
 address={Warszawa},
 journal={Electronic Materials},
 howpublished={online},
 year={1981},
 publisher={Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"},
 language={pol},
 type={Text},
 title={Mechaniczno-chemiczne polerowanie monokrystalicznych płytek związków AIIIBV = Mechanical-chemical polishing of monocrystallic wafers of AIIIBV compounds},
 URL={http://rcin.org.pl/Content/18743/PDF/WA901_11803_M1_r1980-z2-30_Mater-Elektron-Otto_i.pdf},
 keywords={Electronic - journal - materials, Electronic - materials, mechanical-chemical polishing, AIIIBV},
}