@misc{Tomaszewski_Jacek_Przyczyny_1981,
 author={Tomaszewski Jacek},
 volume={31/32},
 editor={Korec Jacek},
 editor={Nossarzewska-Orłowska Elżbieta},
 editor={Brzozowski Andrzej},
 number={4},
 copyright={Rights Reserved - Free Access},
 address={Warszawa},
 journal={Electronic Materials},
 howpublished={online},
 year={1981},
 publisher={Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"},
 language={pol},
 type={Text},
 title={Przyczyny rozrzutów rezystywności krzemowych warstw epitaksjalnych w układach wielowarstwowych = The effective causes of the nanuniformity of the silicon epitaxial layers resistivity in multilayer structures},
 URL={http://rcin.org.pl/Content/18791/PDF/WA901_11812_M1_r1980-z3-4-31-32_Mater-Elektron-Tom_i.pdf},
 keywords={Electronic - journal - materials, Electronic - materials, silicon epitaxial layer, resistivity},
}