@misc{Ciećwierz_Wojciech_Wpływ_1994,
 author={Ciećwierz, Wojciech and Płowiec, Ryszard (1929– )},
 copyright={Rights Reserved - Free Access},
 address={Warszawa},
 journal={Prace IPPT IFTR REPORTS},
 howpublished={online},
 year={1994},
 publisher={Instytut Podstawowych Problemów Techniki Polskiej Akademii Nauk},
 language={pol},
 title={Wpływ impedancji generatora i obwodów pośrednich na impedancję plazmy w zastosowaniu do napylania magnetronowego cienkich warstw w polu wielkiej częstotliwości},
 type={Text},
 URL={http://rcin.org.pl/Content/4261/PDF/WA727_6305_56640-8-1994_Wplyw-impedancji.pdf},
 keywords={Rozpylanie katodowe - zastosowania przemysłowe [KABA], Magnetrony - zastosowania przemysłowe [KABA], Impedancja elektryczna [KABA]},
}