@misc{Możdżonek_Małgorzata_Zastosowanie_2008, author={Możdżonek Małgorzata}, volume={36}, number={1}, copyright={Rights Reserved - Free Access}, address={Warszawa}, journal={Electronic Materials}, howpublished={online}, year={2008}, publisher={ITME}, language={pol}, type={Text}, title={Zastosowanie Fourierowskiej spektroskopii absorpcyjnej w podczerwieni do badania interfejsu SiO2//Si w łączonych strukturach SOI = Infrared spectroscopic analysis of the SiO2??Si interface of SOI structures}, URL={http://rcin.org.pl/Content/7051/PDF/WA901_15954_M1-r2008-t36-z1_Mater-Elektroniczne_Mozdzonek_i.pdf}, keywords={Electronic - journal - materials, Electronic - materials, infrared absorption spectroscopy, SiO2/Si inteface, SOI}, }