@misc{Nossarzewska-Orłowska_Elżbieta_Ograniczenie_1985, author={Nossarzewska-Orłowska Elżbieta}, volume={50}, editor={Sarnecki Jerzy}, editor={Szymkiewicz Andrzej}, number={2}, copyright={Rights Reserved - Free Access}, address={Warszawa}, journal={Electronic Materials}, howpublished={online}, year={1985}, publisher={Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"}, language={pol}, type={Text}, title={Ograniczenie zjawiska samodomieszkowania w epitaksji krzemu = Limitation of the autodoping effects a silicon epitaxy}, URL={http://rcin.org.pl/Content/9320/PDF/WA901_12409_M1_r1985-z2-50_Mater-Elektroniczne_Nossarzewska-Ograniczenie_i.pdf}, keywords={Electronic - journal - material, Electronic materials, Si epitaxy, CVD, autodoping}, }