@misc{Nossarzewska-Orłowska_Elżbieta_Krzemowe_1985, author={Nossarzewska-Orłowska Elżbieta}, volume={50}, editor={Tomaszewski Jacek}, editor={Brzozowski Andrzej}, editor={Sarnecki Jerzy}, number={2}, copyright={Rights Reserved - Free Access}, address={Warszawa}, journal={Electronic Materials}, howpublished={online}, year={1985}, publisher={Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"}, language={pol}, type={Text}, title={Krzemowe warstwy epitaksjalne o zmiennym profilu rezystywności = Silicon epitaxial layers with profiled resistivity}, URL={http://rcin.org.pl/Content/9322/PDF/WA901_12410_M1_r1985-z2-50_Mater-Elektroniczne_Nossarzewska-Krzemowe_i.pdf}, keywords={Electronic - journal - material, Electronic materials, epitaxial layer, Si, resistivity profile}, }