TY - GEN N1 - s. 33-[41] : il. ; 24 cm. N1 - Bibliogr. s. [41] L1 - http://rcin.org.pl/Content/19885/PDF/WA901_10779_M1_r1975-z4-12_Mater-Elektron-Now_i.pdf M3 - Text J2 - Materiały Elektroniczne 1975 nr 4(12) PY - 1975 IS - 4 EP - 41 KW - Electronic - journal - materials KW - Electronic - materials KW - resistivity KW - silicon epitaxial layer A1 - Nowysz Karol A2 - Surma Barbara PB - Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA" VL - 12 CY - Warszawa SP - 33 T1 - Badanie jednorodności oporności krzemowych warstw epitaksjalnych = Investigations of homogenity of silicon epitaxial layers resistivity UR - http://rcin.org.pl/dlibra/publication/edition/19885 ER -