TY - GEN N1 - s. 34-41 : il. ; 24 cm. N1 - Bibliogr. s. 41 L1 - http://rcin.org.pl/Content/20265/PDF/WA901_10853_M1_r1976-z2-14_Mater-Elektron-Drze_i.pdf M3 - Text J2 - Materiały Elektroniczne 1976 nr 2(14) PY - 1976 IS - 2 EP - 41 KW - Electronic - materials KW - Electronic - journal - materials KW - Si KW - wafer A1 - Drzewiecki Paweł A2 - Jaskólska Anna A2 - Czerwińska Anna PB - Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA" VL - 14 CY - Warszawa SP - 34 T1 - Tendencje technologiczne w produkcji płytek krzemowych = Trends in silicon wafers production UR - http://rcin.org.pl/dlibra/publication/edition/20265 ER -