@misc{Czerwińska_Anna_Wpływ_1978,
 author={Czerwińska Anna},
 editor={Bielecki Krzysztof},
 editor={Piątkowski Bronisław},
 number={2},
 copyright={Rights Reserved - Free Access},
 journal={Proceedings of ONPMP},
 address={Warszawa},
 howpublished={online},
 year={1978},
 publisher={Wydaw. Przem. Masz. "WEMA"},
 language={pol},
 title={Wpływ warunków polerowania na chropowatość powierzchni płytek krzemowych = Influence of polishing condictins on surface roughness of silicon wafers},
 type={Text},
 URL={http://rcin.org.pl/itme/Content/29348/PDF/WA901_17317_r1978-z2_Prace-ONPMP-Czerw_i.pdf},
 keywords={Electronic - journal - material, Electronic materials, polishing, surface roughness},
}