@misc{Smoczyński_Dariusz_Modyfikacja_2014,
 author={Smoczyński, Dariusz},
 volume={42},
 number={2},
 copyright={Rights Reserved - Free Access},
 journal={Electronic Materials T. 42 Nr 2 2014},
 address={Warszawa},
 howpublished={online},
 year={2014},
 publisher={ITME},
 language={pol},
 title={Modyfikacja technologii polerowania płytek GaSb stosowanych jako podłoża w procesie epitaksji = Modification of mechanical-chemical treatment technology of epi-ready GaSb substrates},
 type={Text},
 URL={http://rcin.org.pl/itme/Content/53413/PDF/Smoczynski.pdf},
 keywords={GaSb, mechanical - chemical treatment, roughness, oxidation, epitaxy},
}