@misc{Brzozowski_Waldemar_Badania_1973, author={Brzozowski Waldemar}, number={1}, copyright={Rights Reserved - Free Access}, journal={Electronic Materials}, address={Warsaw}, howpublished={online}, year={1973}, publisher={Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"}, language={pol}, title={Badania nad otrzymywaniem warstw epitaksjalnych arsenku galu z fazy gazowej w układzie otwartym Ga-AsCl3-H2 = Investigations on obtaining of gallium arsenide epitaxial layers from gase phase in the open system Ga-AsCl3-H2}, type={Text}, URL={http://rcin.org.pl/itme/Content/541/PDF/WA901_9719_M1_r1973-z1_Mater-Elektron-Brzo_i.pdf}, keywords={Electronic- materials, Electronic - journal - materials, GaAs, CVD, homoepitaxy}, }