@misc{Nossarzewska-Orłowska_Elżbieta_Epitaksja_1978, author={Nossarzewska-Orłowska Elżbieta}, volume={21}, editor={Grudzieński Andrzej}, editor={Tomaszewski Jerzy}, number={1}, copyright={Rights Reserved - Free Access}, journal={Electronic Materials}, address={Warszawa}, howpublished={online}, year={1978}, publisher={Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"}, language={pol}, title={Epitaksja odwrotna w technologii otrzymywania krzemowych przyrządów półprzewodnikowych = Reversed epitaxy in the silicon devices technology}, type={Text}, URL={http://rcin.org.pl/itme/Content/18316/PDF/WA901_11259_M1_r1978-z1-21_Mater-Elektron-Nos_i.pdf}, keywords={Electronic - materials, Electronic - journal - materials, reversed epitaxy, CVD, Si}, }