@misc{Otto_Elżbieta_Mechaniczno-chemiczne_1981, author={Otto Elżbieta}, volume={30}, number={2}, editor={Hruban Andrzej}, editor={Brzozowski Waldemar}, copyright={Rights Reserved - Free Access}, address={Warszawa}, journal={Electronic Materials}, howpublished={online}, year={1981}, publisher={Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"}, language={pol}, type={Text}, title={Mechaniczno-chemiczne polerowanie monokrystalicznych płytek związków AIIIBV = Mechanical-chemical polishing of monocrystallic wafers of AIIIBV compounds}, URL={http://rcin.org.pl/itme/Content/18743/PDF/WA901_11803_M1_r1980-z2-30_Mater-Elektron-Otto_i.pdf}, keywords={Electronic - journal - materials, Electronic - materials, mechanical-chemical polishing, AIIIBV}, }