@misc{Brzozowski_Andrzej_Wpływ_1982, author={Brzozowski Andrzej}, volume={35/36}, number={3/4}, editor={Tomaszewski Jacek}, copyright={Rights Reserved - Free Access}, address={Warszawa}, journal={Electronic Materials}, howpublished={online}, year={1982}, publisher={Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"}, language={pol}, type={Text}, title={Wpływ stanu powierzchni i krzemu na pomiar rezystywności metodą "oporności rozpływu" = The influence of the surface conditions on the resistivity measurements of silicon by the spreading resistance method}, URL={http://rcin.org.pl/itme/Content/18807/PDF/WA901_11824_M1_r1981-z3-4-35-36_Mater-Elektron-Brzo_i.pdf}, keywords={Electronic - journal - materials, Electronic - materials, Si wafer, resistivity, sprending resistance method}, }