@misc{Czerwińska_Anna_Wpływ_1978, author={Czerwińska Anna}, number={2}, editor={Bielecki Krzysztof}, editor={Piątkowski Bronisław}, copyright={Rights Reserved - Free Access}, address={Warszawa}, journal={Proceedings of ONPMP}, howpublished={online}, year={1978}, publisher={Wydaw. Przem. Masz. "WEMA"}, language={pol}, type={Text}, title={Wpływ warunków polerowania na chropowatość powierzchni płytek krzemowych = Influence of polishing condictins on surface roughness of silicon wafers}, URL={http://rcin.org.pl/itme/Content/29348/PDF/WA901_17317_r1978-z2_Prace-ONPMP-Czerw_i.pdf}, keywords={Electronic - journal - material, Electronic materials, polishing, surface roughness}, }