@misc{Kowalik_Andrzej_Technologia_2007, author={Kowalik Andrzej}, editor={Jaroszewicz, Zbigniew. Promotor.}, copyright={Rights Reserved - Free Access}, address={Warszawa}, journal={PhD Dissertations}, howpublished={online}, year={2007}, publisher={ITME}, language={pol}, type={Text}, title={Technologia wytwarzania i optymalizacja parametrów dyfrakcyjnych elementów optycznych otrzymywanych przy użyciu elektronolitografii. Publiczna obrona rozprawy doktorskiej = Fabrication technology and optimization of diffractic optical elements obtained by using electron beam lithography}, URL={http://rcin.org.pl/itme/Content/37071/PDF/WA901_30003_r2007_Pr-Dokt-Kowalik-tech_i.pdf}, keywords={Electronic - materials, diffractive optical element, diffractive lens, electron-beam lithography, reactive ion etching}, }