Title:

Metoda otrzymywania monokrystalicznych folii krzemowych z wykorzystaniem krzemu porowatego

Subtitle:

Materiały Elektroniczne. T. 42 Nr 1

Creator:

Sarnecki Jerzy

Contributor:

Brzozowski Andrzej ; Lipiński Dariusz

Publisher:

ITME

Place of publishing:

Warszawa

Date issued/created:

2014

Description:

Bibliogr. s.: 31 ; s.: 24-31 il., 30 cm.

Type of object:

Książka/Rozdział

Subject and Keywords:

warstwa epitaksjalna ; krzem porowaty ; CVD ; folia krzemowa

Abstract:

24

References:

31

Relation:

Materiały Elektroniczne

Volume:

42

Issue:

1

Start page:

24

End page:

31

Resource type:

Tekst

Detailed Resource Type:

Artykuł

Format:

30 cm ; application/pdf

Source:

ITME, sygn. ; click here to follow the link

Language:

pol

Rights:

Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony

Terms of use:

Zasób chroniony prawem autorskim. Korzystanie dozwolone w zakresie określonym przez przepisy o dozwolonym użytku.

Digitizing institution:

Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych

Original in:

Biblioteka Instytutu Technologii Materiałów Elektronicznych

Projects co-financed by:

Program Operacyjny Innowacyjna Gospodarka, lata 2010-2014, Priorytet 2. Infrastruktura strefy B + R ; Unia Europejska. Europejski Fundusz Rozwoju Regionalnego

Access:

Otwarty