Szukana fraza: [Temat i słowa kluczowe = Electronic\- materials] lub [Temat i słowa kluczowe = Electronic \- journal \- materials] lub [Temat i słowa kluczowe = micromachining] lub [Temat i słowa kluczowe = MEMS] lub [Temat i słowa kluczowe = Elektronika \- czasopismo \- materiały] lub [Temat i słowa kluczowe = Materiały elektroniczne] lub [Temat i słowa kluczowe = MEMS] lub [Temat i słowa kluczowe = czujnik] lub [Tytuł = Proceedings of the 1st Joint Seminar Poland\-Japan on Micromachining\: september 4, 2000] lub [Tytuł = Proceedings of the 1st Joint Seminar Poland\-Japan on Micromachining\: september 4, 2000] lub [Twórca = Institute of Electronic Materials Technology Warszawa 2000] lub [Twórca = Institute of Electronic Materials Technology]