Szukana fraza: [Temat i słowa kluczowe = Electronic \- journal \- materials] lub [Temat i słowa kluczowe = Electronic \- materials] lub [Temat i słowa kluczowe = chemical\-mechanical polishing] lub [Temat i słowa kluczowe = Si wafer] lub [Temat i słowa kluczowe = Elektronika \- czasopismo \- materiały] lub [Temat i słowa kluczowe = Materiały elektroniczne] lub [Temat i słowa kluczowe = polerowanie chemiczno\-mechaniczne] lub [Tytuł = Badanie zależności kinetycznych procesu polerowania płytek krzemowych = The kinetic dependences in the polishing of silicon wafers] lub [Tytuł = Badanie zależności kinetycznych procesu polerowania płytek krzemowych] lub [Twórca = Jaskólska Anna] lub [Twórca = Jaskólska Anna]