Badanie mikroporowatości polerowanej powierzchni płytek krzemowych w celu dostosowania sposobu ich wytwarzania do nowych wymagań jakościowych = Study of micro-roughness of the polished surface of silicon wafers aimed at fulfilling the new quality requirements - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych

Przejdź do menu głównego
Przejdź do wyszukiwarki
Przejdź do treści
Przejdź do stopki

Badanie mikroporowatości polerowanej powierzchni płytek krzemowych w celu dostosowania sposobu ich wytwarzania do nowych wymagań jakościowych = Study of micro-roughness of the polished surface of silicon wafers aimed at fulfilling the new quality requirements

Pobierz

Tytuł: Badanie mikroporowatości polerowanej powierzchni płytek krzemowych w celu dostosowania sposobu ich wytwarzania do nowych wymagań jakościowych = Study of micro-roughness of the polished surface of silicon wafers aimed at fulfilling the new quality requirements

Twórca:

Piątkowski Bronisław

Data wydania/powstania:

Typ zasobu:

Inny tytuł:

Materiały Elektroniczne 2012 T.40 nr 2

Współtwórca:

Szymański Sławomir

Wydawca:

Miejsce wydania:

Opis:

s. 28-33 : il. 30 cm

Czasopismo/Seria/cykl:

Electronic Materials

Tom:

Zeszyt:

Strona pocz.:

Strona końc.:

Szczegółowy typ zasobu:

Format:

application/pdf

Identyfikator zasobu:

oai:rcin.org.pl:27925

Źródło:

ITME, sygn. dostępny ; kliknij tutaj, żeby przejść

Język:

Prawa:

Rights Reserved - Free Access

Zasady wykorzystania:

Copyright-protected material. May be used within the limits of statutory user freedoms

Digitalizacja:

Institute of Electronic Materials Technology

Lokalizacja oryginału:

Library of the Institute of Electronic Materials Technology

Dofinansowane ze środków:

Programme Innovative Economy, 2010-2014, Priority Axis 2. R&D infrastructure ; European Union. European Regional Development Fund

Dostęp:

Temat i słowa kluczowe:

Electronic - journal - materials Electronic - materials silicon wafers surface micro-roughness

Kolekcje, do których przypisany jest obiekt:

Data ostatniej modyfikacji:

2 paź 2020

Data dodania obiektu:

20 maj 2013

Liczba pobrań / odtworzeń:

538

Wszystkie dostępne wersje tego obiektu:

https://rcin.org.pl/publication/46207

Wyświetl opis w formacie RDF:

Wyświetl opis w formacie RDFa:

Wyświetl opis w formacie OAI-PMH:

MATERIAŁY ELEKTRONICZNE

Nazwa wydania	Data
Piątkowski Bronisław, Badanie mikroporowatości polerowanej powierzchni płytek krzemowych w celu dostosowania sposobu ich wytwarzania do nowych wymagań jakościowych	2 paź 2020

Obiekty Podobne

Niektóre problemy poprawy parametrów geometrycznych polerowanych płytek krzemowych = Some problems of improvement of geometrical parameters of polished silicon wafers

Piątkowski Bronisław

1978

Text

Badania nad mechanicznym i chemicznym pocienianiem termicznie połączonych płytek krzemowych = The investigation of the mechanical and chemical thinning of silicon bonded wafers

Piątkowski Bronisław

2002

Text

Łączenie termiczne płytek krzemowych = Thermal bonding of silicon wafers

Zabierowski Piotr

1996

Text

Badanie powierzchniowej warstwy uszkodzonej na płytkach monokrystalicznych krzemu = Investigation of the damaged surface layer on monocrystalline silicon wafers

Łazowy Barbara

1980

Text

Metoda kontrolowanego zaokrąglania płytek krzemowych = The method of the controllable silicon wafer edge rounding

Grudzieński Andrzej

1980

Text

Chemiczne trawienie płytek krzemu w mieszaninie HNO3-HF-CH3COOH = Chemical etching of silicon wafers in a HNO3-HF-CH3COOH mixture

Łazowy Barbara

1976

Text

Generacja dyslokacyjnych linii poślizgu w płytkach krzemowych podczas procesu epitaksji = Generation of dislocation slips in Si wafers during epitaxial process

Nossarzewska-Orłowska Elżbieta

1995

Text

Wpływ stanu powierzchni i krzemu na pomiar rezystywności metodą "oporności rozpływu" = The influence of the surface conditions on the resistivity measurements of silicon by the spreading resistance method

Brzozowski Andrzej

1982

Text

Więcej

Styl cytowania:

iso690-author-date apa modern-language-association chicago-author-date

Ta strona wykorzystuje pliki 'cookies'. Więcej informacji